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アルバック ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ( DAU-100200V ) (株)アルバック 【メーカー取寄】

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型番/商品コード: M3GNQ1T599D

参考価格: 335,790円
214,906円 (税込・送料無料)
商品仕様・詳細情報
特長:

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。

用途:

域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
クライオポンプ排気系のバックポンプ
メカニカルブースターポンプのバックポンプ
ロードロック室排気
吸着搬送、ハンドリング
レーザーガス循環・排気用
真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置

仕様:

排気速度(L/min)50/60Hz:120/144
到達圧力(Pa):266
吸気口径(mm):KF-16
排気口径(mm):KF-16
電源(V):200
全幅(mm):190
全長(mm):437
全高(mm):310
電源(V):単相200

注意:

吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

ブランド名:ULVAC
メーカー型番:DAU-100200V
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