Micro Electro Mechanical Systems (Mems) (Hardcover UK)
型番/商品コード: MOS3TS71IF0
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商品仕様・詳細情報
【お取り寄せ・キャンセル不可の商品】：2週間~4週間でお届け（お急ぎの方はご遠慮ください。） ／ 【本の説明】391ページ 178*260mm 言語：English 国：アメリカ 889g ISBN：9781608764747 ／ 【本の内容】So-called top-down technologies have enabled us to manufacture and fabricate structures even smaller than the micrometer scale. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technologies were developed by applying semiconductor microfabrication technologies to make three-dimensional microstructures and mechanical systems in the late 1980s. MEMS technologies offer the advantages of batch fabrication of numbers of devices as well as an ability to integrate multiple functional units in a small area which is important for developing smart and sophisticated devices. By using top-down technology such as MEMS material costs and the amount of waste can be reduced thus having a potential to meet the re
カスタマーレビュー
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4.7
(7件のレビュー)
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